Initiation aux technologies de microfabrication

Stage court


Public visé
Techniciens, ingénieurs et commerciaux en lien avec des utilisateurs de salle blanche


Durée 
2 jours (14 h)


Lieu
Noisy-le-Grand (93)


Tarif
2 125 €

Objectifs pédagogiques

  • Connaître l’environnement salle blanche et les facilités techniques nécessaires à son fonctionnement
  • Identifier les principaux procédés de microfabrication pour la fabrication de micro-dispositifs
  • Savoir utiliser les équipements pour la mise en oeuvre pratique de ces procédés
  • Apporter une vision globale des procédés technologiques pour une appropriation efficace de l’environnement professionnel

Programme

Introduction générale à l’environnement salle blanche

> Les spécificités de l’environnement salle blanche
> Les différentes classes de salle blanche
> Procédure d’habillage, équipements de protection individuels et sécurité
> Les facilités techniques pour le maintien de l’environnement salle blanche (avec visite) : centrales de traitement de l’air et de l’eau, retraitement des effluents liquides et gazeux

Technologies de microfabrication en salle blanche

> Définitions, éléments théoriques
> Travaux pratiques et démonstrations en salle blanche des procédés de microfabrication suivants :
. Dépôt de couche mince par pulvérisation cathodique
. Photolithographie, simple face et avec alignement
. Gravure ionique réactive (RIE),
. Mesures d’épaisseur par profilométrie
. Découpe

Au coeur d’un campus dynamique avec des équipements d’excellence, accès facile et rapide depuis Paris centre


  • Une équipe avec plus de 30 ans d’expérience et d’innovation dans le domaine des microsystèmes pour le monde industriel et académique


  • Mise en pratique au coeur de la formation (~70%)


  • 650 m² d’installations modernes en classes ISO 5 et ISO 7, ouvertes en 2017


  • Accueil café et déjeuner en salon privé inclus

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