Objectifs pédagogiques
- Connaître l’environnement salle blanche et les facilités techniques nécessaires à son fonctionnement
- Identifier les principaux procédés de microfabrication pour la fabrication de micro dispositifs
- Savoir utiliser les équipements pour la mise en oeuvre pratique de ces procédés
- Apporter une vision globale des procédés technologiques pour une appropriation efficace de l’environnement professionnel
Public concerné
Techniciens, ingénieurs et commerciaux en contact avec des utilisateurs de salles blanche
Prérequis
Cette formation ne nécessite aucun prérequis
Programme
Introduction générale à l’environnement salle blanche
- Les spécificités de l’environnement salle blanche
- Les différentes classes de salle blanche
- Procédure d’habillage, équipements de protection individuels et sécurité
- Les facilités techniques pour le maintien de l’environnement salle blanche : centrales de traitement de l’air et de l’eau
- Retraitement des effluents liquides et gazeux
Pratique des technologies de microfabrication en salle blanche
- Définitions, éléments théoriques
- Travaux pratiques et démonstrations en salle blanche des procédés de microfabrication :
- Dépôt de couches minces par pulvérisation cathodique
- Photolithographie simple face et avec alignement
- Gravure ionique réactive
- Lift-off
- Mesures d’épaisseur
- Découpe de substrat
Méthodes et moyens pédagogiques
- Méthode participative alliant théorie et plus de 75 de mise en pratique
- Un support de cours sera remis à chaque participant
- Une attestation de fin de formation sera remise à chaque participant à l’issue de la formation
Formateurs
Experts du Service pour la Microélectronique et les Microsystèmes
Durée et lieu
2 jours (14h) - Noisy le grand
Tarif public
1550 € (6 stagiaires maximum)
Dates
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