MACHINE DE GRAVURE IONIQUE REACTIVE

MG 200

 Fournisseur:

PLASSYS

14, rue de la Gare

91630 Marolles en Hurepoix

Tel : (33) 01 64 56 20 00

Fax : (33) 01 64 56 10 03

Email : plassys@club-internet.fr

Internet : http://plassys.com

Procédés :

Plaquettes de silicium : de 2" à 100 mm

SAS de chargement : sous vide primaire

Porte substrat : thermalisé

Adaptation d'impédance automatique

Pompe sèche : Alcatel ADP 81

Détection de fin de gravure : interférométrie laser, émission optique

Retour page d'accueil du Service des Moyens en Microélectronique

Retour Page d'accueil Groupe ESIEE