Micro-balance en Silicium à jauges piézorésistives
Collaboration ESIEE - IXL/Bordeaux
Olivier Français / Isabelle Dufour / Ludivine Fade (doctorant)

* L'objectif est d'effectuer une mesure de masse via la fréquence de résonnance d'une structure mécanique (Poutre ou pont). Cette étude est effectuée par le laboratoire IXL à Bordeaux, la conception et la réalisation des premiers prototypes ont été faites à l'ESIEE.

* L'application visée est l'obtention d'un capteur chimique de haute précision.

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* Les structures réalisées sont des structures mécaniques simples (Poutre - Pont) pouvant avoir un plateau central.

* Le principe de mesure se base sur une détection piézorésistive à jauges diffusées.

* La mise en vibration peut se faire de manière externe via un système vibrant (type pastille piézoélectrique). Certaines structures comportent un bobinage pour effectuer un actionnement mécanique (via les forces de Laplace). Un premier oscillateur a été réalisé à l'IXL.

ELABORATION DU MICRAPTEUR
Wafer SOI type N

Elaboration des Jauges

Etape N°1 : Oxydation + Photo ouverture	Etape N°2 : Diffusion des jauges (Dopage Type P sur substrat N) + recuit + Photo ouverture contact	Etape N°3 : Metallisation + Photo Plots de connections	Etape N°4 : Photo Face Avant + Gravure DRIE F. Avant	Etape N°5 : Photo Face Arrière + DRIE : Arret sur oxyd

Etape N°6 : LIBERATION DES STRUCTURES !!! Et Découpe... Encapsulation...

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Liens externes :

Suisse : Concentris
Nez articiel : Basel University (ch)
IBM cantilever sensors