Applications des MEMS
Micro-capteurs

11/12/01


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Table des matières

Applications : Micro-capteurs

Capteur de déformation : résistif

Capteur piézorésistif

Exemple

Capteur de déformation: capacitif

Capteur capacitif

Diapositive PPT

Accéléromètre ADXL50

Capacitif : structure en peigne

Capacitif : structure plaque

Gyroscope

Gyromètre acoustique

Capteurs de Température

Capteur de champ magnétique

Diapositive PPT

Capteur de débit par effet thermique

Capteur de débit par pertes de charge

Capteur de gaz : Transistor moléculaire

Capteur de gaz : SAW type Rayleigh

Auteur: FRANCAIS Olivier

Messagerie: o.francais@esiee.fr

Page d'accueil: http://www.esiee.fr/~francaio

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