I4 : Module Microsystème (60h)
Fournir les bases nécessaires à la conception et réalisation de MEMS, en axant sur les Microcapteurs

- Physique des MEMS
- MicroTechnologie Associée
- Electronique des Capteurs
- Outil de conception

Simulation / Réalisation / Caractérisation de Micropoutre obtenue par Surface Micromachining

peigne 20µ large ; 600µ de long ; 1µ épaisseur

I4 : Etude de cas (45h)
Etude de capteurs PiézoRésistifs et leur utilisation industrielle

- Conception / Simulation (Layout Cadence / Simulation Ansys)
- Réalisation / Caractérisation : TP(s) Salle Blanche

Capteurs de Pression , Magnétomètre, Scanner


Magnétomètre à pont de jauge

I5 : Unité de spécialisation (30h)
Formation complémentaire du Module de I4, renforçant la partie réalisation d'un MEMS et présentant les Microactionneurs

- Les Microactionneurs
- Réalisation d'un MEMS en Salle Blanche
- Caractérisation

Conception - Réalisation - Caractérisation

L'actionneur Electrostatique

I5 : Unité d'ouverture (30h)
Présentation autour de la thématique MEMS et de ses applications

- Introduction
- MicroTechnologie
- Microcapteurs
- Applications (BioMEMS, RFMEMS, MOEMS)

Gyromètre en Silicium