Conception et Réalisation d'un Micro-miroir 2D

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* Le miroir est réalisé à l'aide d'un wafer SOI et d'une gravure DRIE. Un procédé par gravure KOH est aussi possible.

* Un actionnement électrostatique est obtenu par soudure anodique avec un wafer en verre possédant une contre-électrode 'enterrée'.

Le process fait appel à 6 niveaux de Masques :

Process Verre :

Process Silicium :

Résultats :

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