Métrologie

Les salles blanches sont équipées de différents équipement de caractérisation de substrat:

  • Ellipsomètre
  • Profilomètre mécanique
  • Profilomètre optique
  • Interféromètre
  • Mesure de résistivité 4 points
  • Microscopes
  • Microscopes infra-rouge
  • Microscope à force atomique (AFM)
  • Station semi-auto de test sous pointe (mesure de courant, tension, résistance, capacité)